PiezoMotor压电电机：面向半导体晶圆腔的材料方案

半导体设备里，电机很少被看见，可一旦放气超标或旁边飘一点磁场，电子束和干涉条纹先告状。PiezoMotor 把半导体写成真空、无磁、纳米级运动这一页，不是新讲一遍分辨率，是把材料和环境边界摊开。

晶圆搬运与检测现场：电机往往藏在台下或腔壁

真空型号做低放气处理，可按约 125°C 烘烤，真空度公开到约 10⁻⁷ torr。无磁版本壳体用无磁合金，驱动单元是压电陶瓷，手册写 10 毫米处磁通低于约 1 nT，方便靠近电子束柱。LL10D 是常被点名的一只：失速约 6.5 牛，保持约 7 牛，行程最长约 74.5 毫米。

真空可用的上台面直线压电电机

腔里更看重断电自锁。位置要保持几小时，电机不必一直通电顶着，少热、少放气循环。对焦、滤光片、掩模微位、探针接触，都是“动一下、停很久”。

真空管道与腔体：放气和烘烤温度要一起评

不是所有 Piezo LEGS 都真空无磁。字母后缀差一个，材料清单就不是同一张。线束、插接件、编码器是否一并无磁，要按整机真空规程查，电机只是其中一件。